
大気圧プラズマ表面活性化システム FS-DLZ500Z
FS-DLZ500Zシリーズは、大気圧プラズマ表面活性化システムで、基材表面の清掃と活性化を行い、表面のダイン係数を向上、密着力を強化、精密製品の歩留まりを高め、同時に基材表面の静電気を除去します。自動幅調整により、異なる幅の製品に対応可能。精密電子、半導体封止、カメラモジュールなどの業界に広く応用されています。
Specifications
Model
MKS-500Z
Input Voltage
220V±10%
Frequency
50/60Hz
Operating Current
Max 3.5A
Input Gas
Compressed Air (CDA), N2, CO2
Input Pressure
0.25~0.5MPa
Gas Flow
25-80LPM
Plasma Power (MAX)
300/500W
Frequency
15-25KHz
Nozzle Type
Direct Spray
Cleaning Height
5-20mm
Effective Width
4mm
Nozzle Qty
1
Control Mode
I/O
Protection Functions
Pressure, Over-current, Under-current, Over-temp
Operating Temp
-10℃~+50℃
Humidity
20%<93% (non-condensing)
Plasma Temp
Room Temperature
Host Dimensions
450x482x180mm
Nozzle Dimensions
207x38x38.5mm (nozzle dia. 4mm)
